恒流源電流量程分為1μA、10μA效高性、100μA模式、1mA、10mA提升、100mA六檔高品質;
可連接電腦使用也可以不連接電腦使用,連接電腦使用帶自動測量功能支撐能力,自動選擇適合樣品測試電流量程資源優勢;
高速并口通訊接口高效利用,連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒(在0.1mA、1mA估算、10mA講理論、100mA量程檔時);
RTS-8型四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備不要畏懼。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的服務為一體,于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機逐漸顯現、測試臺全會精神、四探針探頭、計算機等部分組成拓展基地,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示集中展示,亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,然后以表格體系流動性,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果宣講手段。
儀器采用了電子技術(shù)進行設(shè)計、裝配表示。具有功能選擇直觀全面闡釋、測量取數(shù)快、精度高競爭力所在、測量范圍寬引人註目、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊溝通機製、易操作等特點好宣講。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠領先水平、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序戰略布局,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析事關全面。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析狀態,然后把測試數(shù)據(jù)以表格技術節能,圖形直觀地記錄、顯示出來廣泛認同。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看國際要求,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析
RTS-8型四探針測試儀技 術(shù) 指 標(biāo) :
測量范圍:電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴展);
方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴展)競爭激烈;
電導(dǎo)率:10-5~105 s/cm持續創新; 電阻:10-5~105 Ω;
可測晶片直徑
140mmX150mm(配S-2A型測試臺)空白區;
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)合理需求;
400mmX500mm(配S-2C型測試臺);
恒流源電流量程分為1μA充分發揮、10μA高質量、100μA、1mA選擇適用、10mA管理、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表
量程及表示形式:000.00~199.99mV業務指導;
分辨力:10μV覆蓋範圍;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% 積極性;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示奮勇向前;極性、超量程自動顯示實施體系;
四探針探頭基本指標(biāo)針:
間絕緣電阻:≥1000MΩ組建;
機械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm效果較好;
探針壓力:5~16 牛頓(總力)重要的意義;
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) 0.01Ω、0.1Ω等多個領域、1Ω再獲、10Ω、100Ω應用擴展、1000Ω體驗區、10000Ω≤0.3%±1字
整機測量大相對誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5%
測試模式:可連接電腦測試也可不連接電腦測試
軟件功能(選配)軟件可記錄、保存活動上、打印每一點的測試數(shù)據(jù)有望,并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)大值、小值生產能力、平均值標準、大百分變化、平均百分變化堅持好、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖大幅增加,也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中特性,對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析傳承。軟件還可選擇自動測量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試建言直達。
計算機通訊接口:并口多種,高速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5 秒(在 0.1mA充分發揮、1mA發展成就、10mA、100mA量程檔時)能力建設。
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度:23±2℃關註;
相對濕度:≤65%;
無高頻干擾無障礙;
無強光直射連日來;