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CVD-1200G 石墨烯生長(zhǎng)爐

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石墨烯生長(zhǎng)爐由滑動(dòng)開啟式真空管式爐,混氣系統(tǒng)投入力度,真空及壓力系統(tǒng)等組成創造。通過滑動(dòng)爐體來實(shí)現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度貢獻法治;同時(shí)通過三路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體設備製造。

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石墨烯生長(zhǎng)爐由滑動(dòng)開啟式真空管式爐,混氣系統(tǒng)攻堅克難,真空及壓力系統(tǒng)等組成管理。通過滑動(dòng)爐體來實(shí)現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度雙向互動;同時(shí)通過三路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體效率和安。

石墨烯生長(zhǎng)爐主要用途和適用范圍:

用于石墨烯生長(zhǎng)、研發(fā)的爐品牌,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn)深入開展。

石墨烯生長(zhǎng)爐技術(shù)參數(shù):

爐體結(jié)構(gòu)

雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫等形式;

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛技術的開發,保溫性能好

爐子底部裝有一對(duì)滑軌,移動(dòng)平穩(wěn)

爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端飛躍,實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻

支撐兩端安裝油壓緩沖器

爐蓋可開啟更高效,可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料

電源

電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4kw

爐管

高純石英管重要部署,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)具體而言,耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小

尺寸:Φ40/60/80/100*1200mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭智慧與合力,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接喜愛,放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐促進進步,平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣去突破、出氣能運用、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

加熱系統(tǒng)

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2智能設備,表面負(fù)荷高不可缺少、經(jīng)久耐用

加熱區(qū)長(zhǎng)度:410mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度:200mm

工作溫度:≤1150

zui高溫度:1200

升溫速率:10/min

溫控系統(tǒng)

溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)特點、自整定功能

30段升降溫程序

測(cè)溫元件:N型熱電偶

恒溫精度:±1

混氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計(jì):數(shù)字顯示積極回應、氣體流量自動(dòng)控制

內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

管路采用不銹鋼管又進了一步,接口為Φ6卡套

每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥

通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量

流量規(guī)格:0~1SLM

流量精度:±0.5%

真空系統(tǒng)

采用雙極旋片真空泵多種場景,真空度可達(dá)5x10-1 Torr

數(shù)顯式真空壓力表

可選高真空系統(tǒng)及真空計(jì),壓力控制系統(tǒng)等

標(biāo)準(zhǔn)配置

主機(jī)1臺(tái)規劃,密封法蘭1套擴大公共數據,“O”型圈4個(gè),石英管1根帶動擴大,管堵4個(gè)核心技術體系,坩堝鉤1把,

說明書持續發展、合格證必然趨勢、保修卡各1

可選配件

混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng)擴大,各種剛玉多樣性、石英坩堝,石英管新格局,計(jì)算機(jī)控制軟件明顯,無紙記錄儀,氧含量分析儀等最新。


 

上海鉅晶精密儀器制造有限公司

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