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儀器設(shè)備重點(diǎn)專項(xiàng) 2020 申報(bào)指南發(fā)布

2020-04-13 16:50:49來(lái)源:科技部關(guān)鍵詞:儀器設(shè)備閱讀量:2464
我要評(píng)論

  【儀器網(wǎng) 政策法規(guī)】科學(xué)儀器設(shè)備不僅是科學(xué)研究的重要工具各項要求,也是社會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要保障更高要求。我國(guó)重大科學(xué)儀器設(shè)備長(zhǎng)期依賴進(jìn)口的現(xiàn)狀已經(jīng)成為制約我國(guó)科技進(jìn)步、自主創(chuàng)新能力提升的因素之一新技術。因此共同學習,切實(shí)提升我國(guó)科學(xué)儀器設(shè)備的自主創(chuàng)新能力和裝備水平是建設(shè)創(chuàng)新型國(guó)家的必然要求。
 
  我國(guó)“重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)”重點(diǎn)專項(xiàng)于2016年啟動(dòng)深入,聚焦通用科學(xué)儀器設(shè)備和專業(yè)重大科學(xué)儀器設(shè)備的儀器開發(fā)效高、應(yīng)用開發(fā)、工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)基礎,為提升我國(guó)科學(xué)儀器設(shè)備行業(yè)整體創(chuàng)新水平提供支持性能。2020年度重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)指南擬支持四極桿飛行時(shí)間液相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀、四極桿離子阱液相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀對外開放、低溫強(qiáng)磁場(chǎng)綜合物性測(cè)量?jī)x技術創新、聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡和高性能流式細(xì)胞分選儀這5個(gè)通用儀器工程化及應(yīng)用開發(fā)任務(wù)深入交流研討,經(jīng)費(fèi)總概算約為1億元。
 
  具體內(nèi)容如下:
 
  “重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)”重點(diǎn)專項(xiàng)2020年度項(xiàng)目申報(bào)指南
 
  科學(xué)儀器設(shè)備是科學(xué)研究和技術(shù)創(chuàng)新的基石廣泛應用,是經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和國(guó)防安全的重要保障關註度。為切實(shí)提升我國(guó)科學(xué)儀器設(shè)備的自主創(chuàng)新能力和裝備水平,促進(jìn)產(chǎn)業(yè)升級(jí)發(fā)展哪些領域,支撐創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略的實(shí)施敢於挑戰,經(jīng)國(guó)家科技計(jì)劃戰(zhàn)略咨詢與綜合評(píng)審特邀委員會(huì)、國(guó)家科技計(jì)劃管理部際聯(lián)席會(huì)議審議建立和完善,“重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)”重點(diǎn)專項(xiàng)已于2016年度啟動(dòng)提供了遵循,并正式進(jìn)入實(shí)施階段。
 
  一穩定發展、指導(dǎo)原則與主要目標(biāo)
 
  本專項(xiàng)緊扣我國(guó)科技創(chuàng)新管理、經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展對(duì)科學(xué)儀器設(shè)備的重大需求,充分考慮我國(guó)現(xiàn)有基礎(chǔ)和能力能力建設,在繼承和發(fā)展“十二五”國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)成果的基礎(chǔ)上模樣,堅(jiān)持政府引導(dǎo)、企業(yè)主導(dǎo)服務,立足當(dāng)前很重要、著眼長(zhǎng)遠(yuǎn),整體推進(jìn)覆蓋、重點(diǎn)突破的原則異常狀況,以關(guān)鍵核心技術(shù)和部件的自主研發(fā)為突破口,聚焦通用科學(xué)儀器設(shè)備和專業(yè)重大科學(xué)儀器設(shè)備的儀器開發(fā)高效、應(yīng)用開發(fā)應用創新、工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā),帶動(dòng)科學(xué)儀器系統(tǒng)集成創(chuàng)新機構,有效提升我國(guó)科學(xué)儀器設(shè)備行業(yè)整體創(chuàng)新水平與自我裝備能力的特性。
 
  通過(guò)本專項(xiàng)的實(shí)施,構(gòu)建“儀器原理驗(yàn)證→關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)(軟硬件)→系統(tǒng)集成→應(yīng)用示范→產(chǎn)業(yè)化”的國(guó)家科學(xué)儀器開發(fā)鏈條基礎,完善產(chǎn)學(xué)研用融合提供堅實支撐、協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展的成果轉(zhuǎn)化與合作模式,激發(fā)行業(yè)高產、企業(yè)活力和創(chuàng)造力信息化技術。強(qiáng)化技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品可靠性、穩(wěn)定性實(shí)驗(yàn)良好,引入重要用戶應(yīng)用示范逐步顯現、拓展產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域,大幅提升我國(guó)科學(xué)儀器行業(yè)可持續(xù)發(fā)展能力和核心競(jìng)爭(zhēng)力引領。
 
  本專項(xiàng)按照全鏈條部署自動化裝置、一體化實(shí)施的原則試驗,共設(shè)置了關(guān)鍵核心部件、通用科學(xué)儀器和專業(yè)重大科學(xué)儀器3類任務(wù)開展攻關合作。本指南為重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)2020年度指南製度保障,擬支持5個(gè)通用儀器工程化及應(yīng)用開發(fā)任務(wù),經(jīng)費(fèi)總概算約為1億元的有效手段。
 
  二意見征詢、總體要求
 
  1.專項(xiàng)定位
 
  本專項(xiàng)充分利用國(guó)家科技計(jì)劃(專項(xiàng)、基金)或其他渠道大大提高,已取得的相關(guān)檢測(cè)原理的必然要求、方法、技術(shù)或科研裝置取得了一定進展,開展系統(tǒng)集成完善好、應(yīng)用開發(fā)和工程化開發(fā),形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)積極參與、“皮實(shí)耐用”和功能豐富的重大科學(xué)儀器設(shè)備產(chǎn)品問題分析,并服務(wù)科學(xué)研究和經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展。項(xiàng)目成果是以市場(chǎng)前景廣泛的關(guān)鍵核心部件和重大科學(xué)儀器設(shè)備產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用為目標(biāo)(一般的核心部件與科學(xué)儀器的原理和方法研究交流研討,商業(yè)化前景不明確的核心部件與儀器研制等工作更加完善,以及臨床醫(yī)療儀器、生產(chǎn)設(shè)備建設應用、機(jī)械裝備支撐作用、平臺(tái)建設(shè)等,不屬于本專項(xiàng)的支持方向)動力。
 
  2.申報(bào)主體
 
  結(jié)合本專項(xiàng)的特點(diǎn)和定位同時,本指南所設(shè)項(xiàng)目均由有條件的企業(yè)牽頭申報(bào)。鼓勵(lì)企業(yè)結(jié)合國(guó)家需求和自身發(fā)展需要效高性,聯(lián)合科研院所和高等院校的優(yōu)勢(shì)力量參與項(xiàng)目研發(fā)工作(主要為企業(yè)提供所需的技術(shù)支撐)模式,建立目標(biāo)任務(wù)明確、產(chǎn)權(quán)和利益分配明晰的產(chǎn)學(xué)研用結(jié)合機(jī)制節點。同時(shí)通過活化,要采取有效措施落地生根,切實(shí)發(fā)揮企業(yè)在專項(xiàng)中的技術(shù)創(chuàng)新決策的特點、研發(fā)投入、項(xiàng)目實(shí)施組織和成果轉(zhuǎn)化等方面的主體地位作用有效保障。
 
  3.支持方式
 
  本專項(xiàng)每個(gè)指南方向可支持1~2個(gè)項(xiàng)目(對(duì)評(píng)審結(jié)果相近且技術(shù)路線明顯不同的同一指南方向先期可支持2項(xiàng)大數據,經(jīng)中期評(píng)估后擇優(yōu)支持)。所有立項(xiàng)項(xiàng)目通過(guò)技術(shù)評(píng)審和非技術(shù)評(píng)審講實踐,且實(shí)施“后端資助”機(jī)制和“限額資助”機(jī)制數字技術。“后端資助”奮戰不懈,即結(jié)合科學(xué)儀器開發(fā)的特點(diǎn),以及我國(guó)科學(xué)儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀措施,強(qiáng)化風(fēng)險(xiǎn)共擔(dān)機(jī)制取得顯著成效,在任務(wù)書約定的中期節(jié)點(diǎn)前主要由承擔(dān)單位自籌經(jīng)費(fèi)實(shí)施,資助20%的國(guó)撥經(jīng)費(fèi)實現。經(jīng)中期評(píng)估不容忽視,對(duì)達(dá)到預(yù)期目標(biāo)、組織管理和經(jīng)費(fèi)使用規(guī)范的項(xiàng)目服務體系,再按計(jì)劃給予支持說服力。“限額資助”,即根據(jù)專項(xiàng)總概算和評(píng)審立項(xiàng)情況分析,分別設(shè)定核心關(guān)鍵部件和整機(jī)的國(guó)撥經(jīng)費(fèi)資助額度上限表示。
 
  4.立項(xiàng)要求
 
  4.1項(xiàng)目基本要求
 
  (1)國(guó)內(nèi)外需求迫切,目標(biāo)儀器設(shè)備應(yīng)用單位明確且具有代表性非常激烈,相關(guān)原理競爭力所在、方法或技術(shù)已取得重要突破,能形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的核心部件與科學(xué)儀器產(chǎn)品領域。
 
  (2)目標(biāo)核心部件與儀器設(shè)備整體設(shè)計(jì)完整體系流動性、結(jié)構(gòu)清晰合理,技術(shù)路線(含軟件開發(fā))可行帶來全新智能,工程化方案實現了超越、應(yīng)用開發(fā)方案可操作性強(qiáng);項(xiàng)目質(zhì)量管理和產(chǎn)業(yè)化策劃、企業(yè)資質(zhì)和能力去完善、知識(shí)產(chǎn)權(quán)和利益分配等非技術(shù)內(nèi)容可行橋梁作用。
 
  (3)擁有本領(lǐng)域的核心關(guān)鍵人才,且具有相關(guān)理論研究求索、設(shè)計(jì)讓人糾結、工程工藝、系統(tǒng)集成穩定發展、應(yīng)用研究以及產(chǎn)業(yè)化研究等相關(guān)方面結(jié)構(gòu)合理的人員隊(duì)伍基石之一。
 
  (4)對(duì)核心部件類項(xiàng)目:原則上承擔(dān)單位主營(yíng)業(yè)務(wù)為核心部件生產(chǎn)企業(yè),項(xiàng)目實(shí)施后能夠獲得全部自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)增持能力,技術(shù)就緒度達(dá)到9級(jí)共同努力,并在相關(guān)儀器主要生產(chǎn)企業(yè)得到廣泛應(yīng)用,形成一定市場(chǎng)規(guī)模追求卓越,產(chǎn)生直接經(jīng)濟(jì)效益逐漸完善。
 
  (5)對(duì)儀器整機(jī)類項(xiàng)目:根據(jù)科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)和應(yīng)用的自身規(guī)律,每一個(gè)項(xiàng)目應(yīng)包括儀器開發(fā)(含軟件開發(fā))、應(yīng)用開發(fā)廣泛關註、工程化開發(fā)(含可靠性開發(fā))和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)等類型工作促進進步。除儀器設(shè)備開發(fā)單位外,產(chǎn)業(yè)化單位優勢領先、應(yīng)用單位也應(yīng)從項(xiàng)目設(shè)計(jì)開始迎來新的篇章,全程參與項(xiàng)目的組織和實(shí)施工作。項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)推動並實現,目標(biāo)儀器技術(shù)就緒度達(dá)到8級(jí)空白區,可形成一定市場(chǎng)規(guī)模,產(chǎn)生直接經(jīng)濟(jì)效益信息化。
 
  (6)承擔(dān)儀器開發(fā)任務(wù)的單位形勢,不得同時(shí)承擔(dān)應(yīng)用開發(fā)任務(wù)。
 
  4.2企業(yè)牽頭承擔(dān)項(xiàng)目的基本要求
 
  (1)在中國(guó)大陸境內(nèi)注冊(cè)1年以上取得明顯成效,具有較強(qiáng)科學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化能力約定管轄,運(yùn)行管理規(guī)范,具有獨(dú)立法人資格;
 
  (2)經(jīng)高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)定或達(dá)到同等條件;
 
  (3)項(xiàng)目與企業(yè)重點(diǎn)發(fā)展方向相符;
 
  (4)與項(xiàng)目參與單位具有前期合作基礎(chǔ);
 
  (5)與項(xiàng)目參與單位事先簽署具有法律約束力的協(xié)議創新的技術,明確任務(wù)分工發揮、專項(xiàng)經(jīng)費(fèi)分配、成果和知識(shí)產(chǎn)權(quán)歸屬及利益分配機(jī)制;
 
  (6)企業(yè)投入的自籌研發(fā)經(jīng)費(fèi)與國(guó)撥經(jīng)費(fèi)投入比例不低于1:1快速增長。自籌研發(fā)經(jīng)費(fèi)和國(guó)撥經(jīng)費(fèi)均應(yīng)用于項(xiàng)目研發(fā)活動(dòng)開放以來,不得用于生產(chǎn)線、廠房等產(chǎn)業(yè)化能力建設(shè)高質量。
 
  4.3項(xiàng)目組織要求
 
  (1)項(xiàng)目推薦單位要加強(qiáng)本部門提供了有力支撐、本地區(qū)、本行業(yè)領(lǐng)域科學(xué)儀器設(shè)備發(fā)展的頂層設(shè)計(jì)前景、資源整合和扶持培育進一步意見。
 
  (2)項(xiàng)目推薦單位要組織項(xiàng)目牽頭單位,會(huì)同產(chǎn)共享應用、學(xué)生產能力、研、用等各方面示範推廣,積極開展項(xiàng)目設(shè)計(jì)和策劃工作堅持好。在項(xiàng)目設(shè)計(jì)時(shí),既要注重技術(shù)問(wèn)題大幅增加,也要注重工程化和產(chǎn)業(yè)化策劃特性、企業(yè)資質(zhì)和能力以及知識(shí)產(chǎn)權(quán)和利益分配機(jī)制等非技術(shù)問(wèn)題。
 
  (3)項(xiàng)目推薦單位要督促項(xiàng)目承擔(dān)單位在項(xiàng)目提出時(shí)落實(shí)法人負(fù)責(zé)制進一步推進、落實(shí)項(xiàng)目配套條件;督促項(xiàng)目承擔(dān)單位聯(lián)合優(yōu)勢(shì)力量共同開展項(xiàng)目設(shè)計(jì)和實(shí)施導向作用。
 
  (4)項(xiàng)目推薦單位在組織推薦過(guò)程中要充分發(fā)揮專家的咨詢作用方案。除考慮技術(shù)可行性外應用的選擇,還應(yīng)重點(diǎn)關(guān)注工程化和產(chǎn)業(yè)化策劃十大行動、企業(yè)資質(zhì)和能力以及知識(shí)產(chǎn)權(quán)和利益分配機(jī)制等非技術(shù)內(nèi)容。在此基礎(chǔ)上背景下,擇優(yōu)推薦項(xiàng)目綜合措施。
 
  三、主要任務(wù)
 
  1.通用儀器工程化及應(yīng)用開發(fā)共性考核指標(biāo):目標(biāo)產(chǎn)品應(yīng)通過(guò)可靠性測(cè)試和第三方異地測(cè)試自然條件,技術(shù)就緒度不低于8級(jí);至少應(yīng)用于2個(gè)領(lǐng)域或行業(yè);明確發(fā)明專利設計標準、標(biāo)準(zhǔn)和軟件著作權(quán)等知識(shí)產(chǎn)權(quán)數(shù)量;形成批量生產(chǎn)能力,明確項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)銷售數(shù)量和銷售額互動互補。原則上發揮重要帶動作用,每個(gè)項(xiàng)目下設(shè)任務(wù)數(shù)不超過(guò)6個(gè),承擔(dān)單位數(shù)不超過(guò)8個(gè)意料之外,實(shí)施年限不超過(guò)3年文化價值。
 
  1.1四極桿飛行時(shí)間液相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀
 
  研究目標(biāo):針對(duì)生物醫(yī)藥研發(fā)、生命科學(xué)研究置之不顧、食品安全不斷完善、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域化合物高準(zhǔn)確和高靈敏檢測(cè)的需求,突破高分辨分析器技術(shù)方便、離子高效選擇及控制技術(shù)基礎上、四極桿與飛行時(shí)間分析器串聯(lián)技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù),開發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)應用領域、質(zhì)量穩(wěn)定可靠保持競爭優勢、核心部件全部國(guó)產(chǎn)化的四極桿飛行時(shí)間液相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀,開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫(kù)發展機遇,實(shí)現(xiàn)復(fù)雜基質(zhì)中痕量蛋白不容忽視、肽類和代謝物小分子等的精確分析。開展工程化開發(fā)服務體系、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣說服力。
 
  考核指標(biāo):信噪比150(柱上進(jìn)樣200fg利血平);分辨率≥30000(質(zhì)荷比956離子峰);質(zhì)量準(zhǔn)確度單級(jí)模式≤1ppm,串級(jí)模式≤2ppm;質(zhì)量穩(wěn)定性≤2ppm/24小時(shí);譜圖采集速度≥50張/s;動(dòng)態(tài)范圍≥5個(gè)數(shù)量級(jí);保留時(shí)間重復(fù)性≤2%分析。項(xiàng)目完成時(shí)產(chǎn)品應(yīng)通過(guò)可靠性測(cè)試新體系,平均故障間隔時(shí)間≥2000小時(shí),技術(shù)就緒度達(dá)到8級(jí)創造。明確發(fā)明專利不難發現、標(biāo)準(zhǔn)和軟件著作權(quán)等知識(shí)產(chǎn)權(quán)數(shù)量;形成批量生產(chǎn)能力,明確項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)銷售數(shù)量和銷售額設備製造。
 
  1.2四極桿離子阱液相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀
 
  研究目標(biāo):針對(duì)環(huán)境監(jiān)測(cè)發展需要、食品安全和臨床診斷等行業(yè)小分子標(biāo)志物高準(zhǔn)確高靈敏定量檢測(cè)需求,突破高效率高穩(wěn)定離子化、離子傳輸和多級(jí)串聯(lián)質(zhì)量分析等關(guān)鍵技術(shù)顯示,開發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)雙向互動、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件全部國(guó)產(chǎn)化的四極桿—離子阱液相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀設計能力,開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫(kù)品牌。實(shí)現(xiàn)復(fù)雜基質(zhì)樣品中目標(biāo)物質(zhì)的準(zhǔn)確定量分析。開展工程化開發(fā)更為一致、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣等形式。
 
  考核指標(biāo):質(zhì)量范圍優(yōu)于20Th-2000Th;質(zhì)量分辨率于3000;掃描速度≥20000amu/sec;串聯(lián)分析級(jí)數(shù)(MSn)≥3;三級(jí)質(zhì)譜檢測(cè)信噪比≥500:1(50fg利血平樣品),檢測(cè)限≤5fg;峰面積重復(fù)性≤3%(1pg利血平連續(xù)進(jìn)樣10次);液相色譜大流速≥2mL/min研究與應用。產(chǎn)品完成時(shí)應(yīng)通過(guò)可靠性測(cè)試飛躍,平均故障間隔時(shí)間≥3000小時(shí),技術(shù)就緒度達(dá)到8級(jí)全面協議。明確發(fā)明專利重要部署、標(biāo)準(zhǔn)和軟件著作權(quán)等知識(shí)產(chǎn)權(quán)數(shù)量;形成批量生產(chǎn)能力,明確項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)銷售數(shù)量和銷售額新的動力。
 
  1.3低溫強(qiáng)磁場(chǎng)綜合物性測(cè)量?jī)x
 
  研究目標(biāo):針對(duì)物理的過程中、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域?qū)ξ⒓{器件和新材料電學(xué)廣泛關註、磁學(xué)促進進步、熱學(xué)等物性測(cè)量的需求,突破免液氦低溫恒溫控制優勢領先、高穩(wěn)定度超導(dǎo)強(qiáng)磁場(chǎng)迎來新的篇章、全自動(dòng)多物性測(cè)量系統(tǒng)集成等關(guān)鍵技術(shù),開發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)推動並實現、質(zhì)量穩(wěn)定可靠薄弱點、核心部件全部國(guó)產(chǎn)化的低溫強(qiáng)磁場(chǎng)綜合物性測(cè)量?jī)x,開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫(kù)積極回應,實(shí)現(xiàn)對(duì)微納器件和材料電學(xué)重要性、熱學(xué)、磁學(xué)物性的綜合測(cè)量分析多種場景。開展工程化開發(fā)多元化服務體系、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。
 
  考核指標(biāo):溫度控制系統(tǒng):1.9K~400K范圍連續(xù)控溫擴大公共數據,溫度穩(wěn)定性≤0.2%(T≤10K)深度、0.02%(T>10K);磁場(chǎng)控制系統(tǒng):磁場(chǎng)強(qiáng)度范圍±14T,磁場(chǎng)中心處5cm范圍內(nèi)均勻度達(dá)到0.1%;電物性測(cè)量:直流電阻測(cè)量范圍1×10-8Ω~5×109Ω核心技術體系,測(cè)量精度0.1%(R≤200kΩ)開拓創新、0.2%(R>200kΩ);熱物性測(cè)量:比熱測(cè)量靈敏度≤10nJ/K@2K持續發展,熱電系數(shù)測(cè)量精度優(yōu)于5%,熱導(dǎo)率測(cè)量精度優(yōu)于5%;磁物性測(cè)量:直流磁化強(qiáng)度測(cè)量靈敏度≤2×10-5emu促進善治,交流磁化率測(cè)量靈敏度<2×10-8emu@10kHz擴大。項(xiàng)目完成時(shí)產(chǎn)品應(yīng)通過(guò)可靠性測(cè)試,平均故障間隔時(shí)間≥5000小時(shí)實事求是,技術(shù)就緒度達(dá)到8級(jí)進行探討。明確發(fā)明專利落到實處、標(biāo)準(zhǔn)和軟件著作權(quán)等知識(shí)產(chǎn)權(quán)數(shù)量;形成批量生產(chǎn)能力服務水平,明確項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)銷售數(shù)量和銷售額。
 
  1.4聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡
 
  研究目標(biāo):針對(duì)集成電路芯片設(shè)計(jì)修正和失效分析技術創新、樣品3D重構(gòu)處理方法、透射電鏡樣品制備等微納加工技術(shù)需求,突破高分辨率聚焦離子束持續向好、高分辨率場(chǎng)發(fā)射電子束獲得等核心技術(shù)習慣,開發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、性能穩(wěn)定可靠進展情況、核心部件全部國(guó)產(chǎn)化的聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡的積極性,開發(fā)相關(guān)軟件,開展工程化開發(fā)至關重要、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣不久前。
 
  考核指標(biāo):液態(tài)鎵離子源聚焦離子束掃描分辨率≤5nm@30kV(雙束重合點(diǎn)),能量≥30kV提升行動,束流≥65nA;聚焦電子束分辨率≤1.2nm@1kV(雙束重合點(diǎn))能力建設,能量≥30kV,束流≥50nA;大樣品直徑≥150mm有效性,Z向高度調(diào)節(jié)范圍≥40mm;具備聚焦離子束材料刻蝕創新內容、沉積和透射電鏡樣品制備、3D結(jié)構(gòu)重構(gòu)能力;具備聚焦離子束加工過(guò)程中掃描電子束實(shí)時(shí)觀察能力廣泛關註。項(xiàng)目完成時(shí)產(chǎn)品應(yīng)通過(guò)可靠性測(cè)試善於監督,平均故障間隔時(shí)間≥500小時(shí),技術(shù)就緒度達(dá)到8級(jí)就能壓製。明確發(fā)明專利更合理、標(biāo)準(zhǔn)和軟件著作權(quán)等知識(shí)產(chǎn)權(quán)數(shù)量;形成批量生產(chǎn)能力,明確項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)銷售數(shù)量和銷售額效果。
 
  1.5高性能流式細(xì)胞分選儀
 
  研究目標(biāo):針對(duì)生物和醫(yī)學(xué)等行業(yè)血液和細(xì)胞分析需求有所應,突破單細(xì)胞多色熒光高效分光技術(shù)、百萬(wàn)量級(jí)細(xì)胞數(shù)據(jù)處理技術(shù)合作關系、微流控細(xì)胞分選技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)著力提升,開發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)深刻內涵、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件全部國(guó)產(chǎn)化的高性能流式細(xì)胞分選儀融合,開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫(kù)深入闡釋,實(shí)現(xiàn)對(duì)細(xì)胞、熒光微球等生物顆粒的分析完成的事情、計(jì)數(shù)與分選物聯與互聯。開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣改造層面。
 
  考核指標(biāo):激光器波長(zhǎng)數(shù)≥4;激發(fā)熒光波長(zhǎng)數(shù)≥30;熒光檢測(cè)靈敏度:FITC≤80MESF供給,PE≤30MESF;細(xì)胞檢測(cè)和分析速度≥70000細(xì)胞/秒;分選純度≥98%;顆粒檢測(cè)大小0.2μm~50μm。項(xiàng)目完成時(shí)產(chǎn)品應(yīng)通過(guò)可靠性測(cè)試經驗分享,平均故障間隔時(shí)間≥5000小時(shí)解決方案,技術(shù)就緒度達(dá)到8級(jí)。明確發(fā)明專利有力扭轉、標(biāo)準(zhǔn)和軟件著作權(quán)等知識(shí)產(chǎn)權(quán)數(shù)量;形成批量生產(chǎn)能力上高質量,明確項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)銷售數(shù)量和銷售額。
 
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