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如何通過選擇加速電壓來提高掃描電鏡的圖像質(zhì)量

閱讀:583      發(fā)布時間:2019-4-17
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  臺式電鏡在出場階段已經(jīng)優(yōu)化了幾組針對不同類型樣品的加速電壓,掌握微調(diào)節(jié)加速電壓的技能可以給圖像錦上添花去突破。
 
  經(jīng)典的原理大家都知道:掃描電鏡使用高壓加速的電子束作為光源能運用,燈絲產(chǎn)生電子通過幾千伏至幾十千伏的高壓加速后通過電磁透鏡和光闌把聚焦的很細的電子束轟擊到樣品表面,激發(fā)出試樣表面的各種信號智能設備,通過相關探測器分別進行收集不可缺少,可以獲得樣品相關的表面形貌信息和微區(qū)成分信息。
 
  分辨率是掃描電鏡的關鍵參數(shù)特點,其是指能夠分辨物體小間距的能力積極回應。英國物理學家瑞利提出分辨率 d 的計算方法為:
 
分辨率取決于光源的波長,波長越短向好態勢,分辨率越好平臺建設。
 
  運動的電子具有波粒二象性,這與可見光的性質(zhì)是相似的貢獻力量,高壓加速后的電子束波長比可見光約小 5 個數(shù)量級使用。因此掃描電鏡的分辨率比光學顯微鏡高得多。從理論上得出:加速電壓越高去創新,電子束波長越短足夠的實力,掃描電鏡的分辨率越高。
 
  實際是什么樣的呢結構?加速電壓越大效果越佳嗎更適合?先來看下面這組圖片的對比,你可以得到什么結論呢溝通協調?
 
  圖1. 15kV 錫球照片 圖2. 5kV 錫球照片
 
  圖 1 和圖 2 是錫球樣品分別在 15kV 和 5kV 同一位置的掃描電鏡圖像對比要素配置改革。對于 15kV 的圖像,尺度越小的錫球拍攝邊緣更銳利保障性,分辨率更高帶動產業發展,但對于錫球表面的細節(jié)信息反應較差;5kV 圖像錫球表面的污染物信息表征更明顯更真實十分落實,但尺度較小的錫球邊緣較為模糊倍增效應,分辨率較差,信號也不如 15kV 充足製造業。
 
  因此優化服務策略,實際工作中要采集到一張好的電鏡照片,選擇合適的加速電壓是非常重要的一步發展基礎,通常應該依據(jù)試樣的成分和分析目的綜合選擇兩個角度入手。
 
  如下是飛納電鏡工程師們的部分心得,大家可以在自己的實驗中試試同期,如果有更好的建議創新為先,歡迎在文章下方反饋給我們進行經(jīng)驗交流真正做到,非常期待您的反饋。
 
  原子序數(shù)越大的材料創新延展,例如金屬試樣一般選擇較高的加速電壓,輕元素組成的試樣一般選擇較低的加速電壓長期間。
 
  加速電壓越高電子束波長越短基本情況,電鏡越能發(fā)揮其高分辨率的特點,比較適合拍攝高放大倍數(shù)的照片高端化。但加速電壓過大會缺失表面信息和細節(jié)力量,容易造成試樣的損傷。
 
  加速電壓越低提單產,入射電子束與樣品的作用區(qū)范圍越小深入實施,電鏡的成像信息更多的來自表層,圖像的表面細節(jié)越豐富精準調控、越真實功能、越細膩,對于樣品的損傷也越小解決。但低電壓僅適合拍攝放大倍數(shù)不高的圖像預期,信噪比也比較差。飛納電鏡采用高亮度 CeB6 燈絲和肖特基場發(fā)射電子槍幅度,可以顯著提高低電壓成像質(zhì)量
 
  如果你是飛納臺式掃描電鏡的用戶結構,可在設置界面自由選擇 5kV,10kV貢獻,15kV的不同加速電壓直接成像(如圖 3 所示)規模最大,在設置界面(圖4)可選擇 5kV-15kV(部分型號如 Phenom XL 的加速電壓可達到 20kV)的連續(xù)可調(diào)節(jié)電壓進行成像,切換起來簡單便捷統籌。
 
圖3. 設置界面最深厚的底氣,加速電壓選擇模式
 
圖4,設置界面堅實基礎,加速電壓連續(xù)可調(diào)
 
  (ProX版本5-15KV稍有不慎,XL版本5-20KV)

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