當(dāng)談?wù)搾呙桦婄R品質(zhì)的時候實力增強，人們總喜歡將分辨率、放大倍數(shù)等參數(shù)作為評判依據(jù)的*共享。尤其是在購買新設(shè)備時信息化，更是將這兩項參數(shù)視若明珠，不敢稍加怠慢生動，因此很容易陷入 “參數(shù)黨” 的漩渦而背離了購買電鏡的初衷新型儲能。
 

　　那么不妨回過神兒來仔細想想，大家購買掃描電鏡的實際需求是什么新品技？當(dāng)然是為了更範圍、更快捷地觀察樣品。
 

　　那么如何實現(xiàn)上述的目的呢紮實做？
 

　　設(shè)備與人是使用電鏡過程中的兩大主體空間廣闊，將電鏡的分辨率領先水平、放大倍數(shù)等參數(shù)置于考察的*固然無錯，但是更加不能忽略操作人員與電鏡的交互過程雙重提升，也就是使用與管理體驗戰略布局，這其中包括了設(shè)備對環(huán)境的適應(yīng)性、易學(xué)性表現明顯更佳、工作效率和性能的穩(wěn)定性等因素狀態。
 

　　設(shè)想一下，電鏡的操作界面復(fù)雜繁瑣指導，如換樣拍照費時費力廣泛認同，管理維護程序復(fù)雜，且電鏡性能衰減嚴重流動性，那么分辨率等出廠參數(shù)也將失去意義鍛造。
 

　　本篇從電鏡設(shè)備性能穩(wěn)定性入手，初步了解其對使用與管理體驗的影響持續創新。
 

　　掃描電鏡分辨率
 

　　如果非要用一個參數(shù)來評價掃描電鏡的性能改善，那么大部分人會毫不猶豫地選擇 “分辨率” 這個關(guān)鍵詞。
 

　　分辨率代表了有效辨別細小目標的能力協調機製，掃描電鏡的升級與革新也正是以分辨率為界限的信息化。
 

　　如鎢燈絲掃描電鏡的分辨率在 5nm@30kV 級別，硼系燈絲掃描電鏡的分辨率在 <3nm@30kV 級別實踐者，而場發(fā)射掃描電鏡的分辨率可高達埃米級別取得明顯成效，已接近透射電鏡水平。
 

　　因此數據，分辨率基本代表了電鏡的能力級別創新的技術。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，普及型電鏡的分辨率也基本接近峰值發行速度，而不同廠家同類型電鏡的出廠分辨率也日趨一致更加堅強。
 

　　那么，如何保證電鏡擁有長期穩(wěn)定的分辨率才是操作人員更應(yīng)該關(guān)注的性能奮勇向前，也就是掃描電鏡性能的穩(wěn)定性不斷豐富。
 

　　電子源
 

　　燈絲(電子槍)是電子源的提供者，也是整臺電鏡重要的部件組建，燈絲所發(fā)射電子的密度、束斑尺寸效果較好、能量分布將決定性影響掃描電鏡的分辨率重要的意義。
 

　　1. 鎢燈絲
 

　　鎢燈絲具有結(jié)構(gòu)簡單、束流大等多個領域、真空要求低再獲、易更換等優(yōu)點產品和服務，但是由于其束流密度小、信噪比差體驗區、化學(xué)穩(wěn)定性差增多、且使用壽命短(80-100h)，因此有望，在使用過程中需要高頻率的更換燈絲進一步推進，以確保電鏡保持較為穩(wěn)定的分辨率。
 

　　2. CeB6 燈絲
 

　　飛納電鏡采用 CeB6 燈絲方案。CeB6 燈絲亮度為 1000A/cm2?sr應用的選擇，是鎢燈絲亮度的 10 倍，因此具有更高的分辨率左右。CeB6 燈絲具有更好的抗干擾能力背景下，工作溫度為 1800K，遠低于鎢燈絲工作溫度(2800K)可靠保障，燈絲揮發(fā)量相對較小自然條件，因此使用壽命基本都可達到 1500h，如果再加以規(guī)范管理開展，使用壽命可進一步延長將進一步。
 

　　例如，廣西大學(xué)材料學(xué)院飛納臺式掃描電鏡能譜一體機 Phenom ProX發展成就，單根燈絲的使用壽命已經(jīng)達到了 2958h成就，因此使用 CeB6 燈絲可大大減少頻繁更換燈絲的煩惱。
 

　　廣西大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院于 2014 年購入飛納臺式電鏡 Phenom ProX關註。在燈絲使用 2958h 后更換了新燈絲研究進展，經(jīng)測量，背散射電子(BSD)圖像的分辨率為 11.05nm@15kV連日來，雖然經(jīng)歷了近 5 年的使用快速融入，但是分辨率依然可達到 14 年新裝設(shè)備的驗收標準(14 nm)，并未出現(xiàn)性能衰減的現(xiàn)象系統。因此增強，有理由相信飛納電鏡具有優(yōu)異的性能穩(wěn)定性。
 

分辨率測試結(jié)果
 

燈絲使用 2700 h 時客戶拍攝的圖像
 

更換燈絲后的掃描電鏡圖像
 

燈絲使用計時
 

　　電子光路系統(tǒng)
 

　　在電子光路系統(tǒng)中交流等，電子槍柵極到陽極區(qū)間是受陰極蒸氣污染較為嚴重的區(qū)域更加廣闊，需要定時對韋氏帽、陽極等進行超聲提高、拋光清理才能維持電鏡良好的狀態(tài)可以使用。如果清理時操作不當(dāng)或者環(huán)境灰塵較多，還有可能造成光路系統(tǒng)的二次污染紮實，更換燈絲的頻率越高效高化，受污染的概率也會增大新體系，這也是鎢燈絲電鏡性能衰減嚴重的主要原因之一。
 

　　隨著使用時間的增加創造，掃描電鏡的分辨率都有一定程度的下降不難發現。得益于飛納電鏡的工業(yè)設(shè)計，其分辨率隨使用時間的衰減要比鎢燈絲電鏡緩慢的多設備製造。因此發展需要，即使鎢燈絲電鏡的初始分辨率略高于飛納電鏡，在之后很長的使用周期內(nèi)信息化，飛納電鏡的分辨率都要更優(yōu)方式之一。
 

　　飛納電鏡的燈絲采用一體化設(shè)計，燈絲到達壽命后將對整個電子槍進行更換(包含全新的韋氏帽和陽極)新型儲能，從而實現(xiàn)了光學(xué)系統(tǒng)免維護創新能力。
 

　　更換燈絲的過程由專業(yè)工程師上門完成，避免客戶在自行清理過程引入污染物範圍，保障了光路系統(tǒng)的清潔狀態(tài)求得平衡。
 

　　CeB6 燈絲長壽命的特征，使其無需頻繁更換引領作用，避免經(jīng)常將燈絲倉暴露于大氣環(huán)境中加強宣傳，減少污染的可能性；CeB6 燈絲高亮度用的舒心、低色散的特征技術發展，使其無需復(fù)雜的光路系統(tǒng)，因此受污染的概率降低集成，這保證了電鏡性能的長期穩(wěn)定重要手段。
 

　　綜上所述，飛納電鏡采用高亮度穩定性、長壽命的 CeB6 作為電子源像一棵樹，既可獲得較高分辨率的電子圖像，又避免了頻繁更換燈絲所造成的二次污染去突破，再加之免維護的光路系統(tǒng)能運用，極大程度地保證了電鏡性能的長期穩(wěn)定，即使歷經(jīng)數(shù)載智能設備，風(fēng)采依舊不減當(dāng)年不可缺少。