美國(guó)英覆粩鄤撔?？礗C6高性能膜厚控制儀

IC6 薄膜沉積控制器

不變的是超卓的表現(xiàn)

功能豐富的 IC6 提供提供上佳測(cè)量精度

IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎(chǔ)上建立和完善，增添了更多*的功能，可幫助您實(shí)現(xiàn)沉積過(guò)程的巨大價(jià)值參與水平。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測(cè)量系統(tǒng)產業，提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測(cè)量情況較常見，速率分辨率可達(dá)每 1/10 秒 0.00433 Å/s能力建設，是行業(yè)中的翹楚。IC6 具有其他石英晶體控制器*的性能生產體系、品質(zhì)和功能服務，賦予您的過(guò)程超卓的可重復(fù)性。

功能

• ·INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得高能力和水平、穩(wěn)定的速率和厚度測(cè)量分辨率覆蓋，即使在速率超低的情況下
• ·Auto Z 技術(shù)通過(guò)自動(dòng)測(cè)定沉積材料的 Z 比值異常狀況，可提高厚度測(cè)量的精度
• ·支持上限六個(gè)來(lái)源同時(shí)共沉積
• ·彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過(guò)程的進(jìn)展?fàn)顩r
• ·100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
• ·USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄
• ·強(qiáng)大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡(jiǎn)單或復(fù)雜的系統(tǒng)（使用可擴(kuò)展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器高效，14 TTL 輸出)應用創新，并充分利用邏輯功能（100 個(gè)邏輯語(yǔ)句）
• ·6 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來(lái)源控制、速率或厚度監(jiān)控
• ·可容納上限 50 個(gè)過(guò)程機構，每個(gè)過(guò)程 200 層的特性，這些過(guò)程關(guān)聯(lián)到一起，總共可容納 10,000 層基礎。
• ·多路傳感器可平均分配為 8 個(gè)傳感器
• ·4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長(zhǎng)的真空傳感器電纜
• ·可選以太網(wǎng)通信
• ·Optional IC6 Configuration Editor Software (part number 781-620-G1) - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.
• ·符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

美國(guó)英柑峁﹫詫嵵?？礗C6高性能膜厚控制儀 

典型應(yīng)用

• 光學(xué)鍍膜