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液體顆粒計(jì)數(shù)器在濕電子化學(xué)品等級(jí)判定中的應(yīng)用

閱讀:322      發(fā)布時(shí)間:2024-3-28
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1狀況、概念:濕化學(xué)品是歐美及我國中國臺(tái)灣地區(qū)的稱呼(更為普遍)解決方案,國際上又稱工藝化學(xué)品線上線下,我國習(xí)慣稱其為超凈高純?cè)噭?/span>

2組成部分、應(yīng)用:濕化學(xué)品是超大規(guī)模集成電路示範推廣、平板顯示實踐者、太陽能電池知識和技能、晶圓等制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一取得顯著成效。濕化學(xué)品一般要求超凈和高純,對(duì)生產(chǎn)實現、包裝估算、運(yùn)輸及使用環(huán)境的潔凈度都有要求。

3的可能性、目的:濕電子化學(xué)品的金屬雜質(zhì)含量越低不要畏懼、顆粒度越小,越是可以應(yīng)用于更為先進(jìn)的晶圓制程工藝應用領域。所以濕電子化學(xué)品的核心指標(biāo)就是“純凈度"保持競爭優勢。液體顆粒計(jì)數(shù)器來判定濕化學(xué)品的純度等級(jí)進行培訓,以便對(duì)應(yīng)的企業(yè)采購對(duì)應(yīng)級(jí)別的產(chǎn)品。

4長效機製、檢測(cè)儀器:PMT-2 液體顆粒計(jì)數(shù)器法治力量,防腐型。采用普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測(cè)傳感器分享,雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)共享,可

對(duì)鹽酸、硫酸方式之一、硝酸生動、氨水、雙氧水創新能力、氫氧化鉀新品技、氫氧化鈉、刻蝕液等化學(xué)品進(jìn)行顆粒檢測(cè)求得平衡。0.1紮實做、0.2、0.5三個(gè)檢測(cè)段的傳感器供選擇至關重要。

5提供深度撮合服務、試劑:?jiǎn)嗡釅A、混合液的發生、溶劑類事關全面。

6、檢測(cè)過程:取一定量溶液狀態;用PMT-2液體顆粒計(jì)數(shù)器對(duì)液樣進(jìn)行檢測(cè)技術節能,將檢測(cè)結(jié)果對(duì)照電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)表,來判定溶液的級(jí)別廣泛認同。見下表:

 

 

1.jpg


7國際要求、結(jié)論:目前太陽能電池領(lǐng)域僅需要達(dá)到G1等級(jí);顯示面板領(lǐng)域一般要求達(dá)到G2鍛造、G3等級(jí)競爭激烈;集成電路領(lǐng)域,8英寸及以下晶圓要求達(dá)到G3改善、G4水平智慧與合力,12英寸晶圓需要達(dá)到G5等級(jí)。國際上制備G1到G5級(jí)濕電子化學(xué)品的技術(shù)已經(jīng)趨于成熟重要的角色,國內(nèi)大部分企業(yè)已經(jīng)達(dá)到國際G3標(biāo)準(zhǔn)開放要求,并已開展G4標(biāo)準(zhǔn)的研發(fā)工作。

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