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浙江孚夏醫(yī)療科技有限公司

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潔凈工作臺(tái)法凈化空氣

閱讀:281      發(fā)布時(shí)間:2021-1-28
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  空氣經(jīng)過(guò)過(guò)濾的生產(chǎn)環(huán)境首先被航空航天工業(yè)使用。即使一個(gè)極其微小的缺陷都可造成衛(wèi)星工作失誤核心技術,因此應用提升,NASA (譯者注:美國(guó)航空航天中心)和其服務(wù)商們建造了帶有過(guò)濾天花板夾層和過(guò)濾墻體的車間。而且*了許多基本的污染控制理念創造性,其中包括從工作人員潔凈服到潔凈室使用物的管理方法發展的關鍵。

  半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。 然而一個(gè)主要的問(wèn)題是當(dāng)從小加工車間擴(kuò)建為有更多工人工作的大型車間后保障性,很難保持其固有的潔凈度帶動產業發展。 早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過(guò)濾天花板夾層和墻體的方法演化為潔凈工作臺(tái)法。這個(gè)主要是把過(guò)濾器裝在單個(gè)工作臺(tái)上十分落實,并使用無(wú)脫落的物質(zhì)倍增效應。 在工作臺(tái)以外,晶圓被裝在密封的盒子中儲(chǔ)存製造業、運(yùn)輸需求。

  在大型車間中按順序排列的工作臺(tái)(叫做工作罩)組成加工區(qū),使晶圓依工藝次序經(jīng)過(guò)而不從露于空氣中組合運用。潔凈工作罩中的過(guò)濾器是一種顆粒搜集過(guò)濾器(HEPA過(guò)濾器)更讓我明白了。這些過(guò)濾器是由含許多小孔,并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成積極,由于高密度的小孔與大面積的過(guò)濾層探索,使得大量的空氣低速流過(guò)。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流產業,有利于工作臺(tái)的潔凈度滿意度,并且對(duì)于操作員而言,在舒適的環(huán)境中工作也是必要的可持續。典型的空氣流量6為每分鐘90到100 英寸主要抓手。HEPA過(guò)濾器可達(dá)到99.99%或更高的過(guò)濾效率,并可用于三種凈化方法中構建。

  一般來(lái)說(shuō)創新科技,HEPA過(guò)濾器裝于潔凈工作臺(tái)頂部」矂撦x煌?諝庥娠L(fēng)扇吸入先通過(guò)前置過(guò)濾器具有重要意義,再通過(guò)HEPA過(guò)濾器,并以均勻平行的方式流出大部分,在工作臺(tái)表面改變方向功能,流出工作臺(tái)。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動(dòng)方向,通常這種方式稱為空氣層流立式式(VLF)工作臺(tái)預期,它是由空氣流的方向命名的敢於監督。有些工作臺(tái)把HEPA過(guò)濾器裝于工作臺(tái)后部,這種方式被稱為空氣層流平行(HLF)式工作臺(tái)結構。

  顆粒搜集過(guò)濾器(HEPA)

  Dirty Air臟空氣

  Clean Air凈空氣

  空氣層流立式工作臺(tái)

  Blower鼓風(fēng)機(jī)

  HEPA Filter HEPA過(guò)濾器

  Prefilter前級(jí)過(guò)濾器

  Shield擋板

  Air Flow空氣流

  Work Surface工作臺(tái)面

  這兩種工作臺(tái)按兩種方法來(lái)保持晶圓清潔:首先是工作臺(tái)內(nèi)的空氣凈化;其次重要的作用,凈化過(guò)程在工作臺(tái)內(nèi)產(chǎn)生一點(diǎn)空氣正壓,正壓可防止由操作員與走廊產(chǎn)生的污染物進(jìn)入工作臺(tái)規模最大。

  使用化學(xué)溶液的工藝需要對(duì)VLF式工作臺(tái)進(jìn)行特殊設(shè)計(jì)穩中求進,這種工作臺(tái)必須接有空氣排風(fēng),以吸收化學(xué)溶液蒸汽最深厚的底氣,因?yàn)檎羝麜?huì)產(chǎn)生安全及污染的危險(xiǎn)協同控製。在這種設(shè)計(jì)下,必須平衡VLF與排風(fēng)中的空氣流傳遞,來(lái)維持工作臺(tái)的潔凈級(jí)別數(shù)試驗。而且還要求晶片需存放在工作臺(tái)中相對(duì)較潔凈的前部。

  凈化工作臺(tái)的方法還可應(yīng)用于現(xiàn)代晶圓加工設(shè)備中開展攻關合作。在每臺(tái)設(shè)備上安裝VLF或HLF式工作臺(tái)來(lái)保持晶圓在裝卸過(guò)程中潔凈製度保障。



凈化設(shè)備有限公司位于浙江省紹興市上虞區(qū)道墟鎮(zhèn),的有效手段,是華東地區(qū)一家凈化設(shè)備行業(yè)中的制造商之統籌推進。可按ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)關鍵技術、GB50073-2001國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及國(guó)家GMP規(guī)范要求為微電子了解情況、生物醫(yī)藥、醫(yī)院手術(shù)室技術研究、光纖光纜特點、食品飲料、精密儀器結論、半導(dǎo)體及新材料應(yīng)用等行業(yè)提供專業(yè)的空氣凈化系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)、施工質生產力、檢測(cè)及技術(shù)服務(wù)適應性強。
公司主營(yíng)凈化工作臺(tái)系列、風(fēng)淋室系列先進的解決方案、通風(fēng)柜系列拓展,生物安全柜系列被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療衛(wèi)生、電子宣講活動、制藥不斷進步、生物、食品、農(nóng)林規模、畜牧獸醫(yī)近年來、檢驗(yàn)檢疫、航空航天發展目標奮鬥、汽車制造技術先進、精密儀器、大專院校和各科研機(jī)構(gòu)延伸,在國(guó)內(nèi)和東南亞市場(chǎng)享有*的聲譽(yù)認為。
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