潔凈室的定義不難發現，早是在美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209上出現(xiàn)，之后日漸普及并廣為半導(dǎo)體業(yè)與制藥業(yè)接受設備製造。到了90年代后期分享，產(chǎn)業(yè)界體認(rèn)到若是無共同標(biāo)準(zhǔn)，就不能實現(xiàn)經(jīng)濟(jì)的化信息化，于是有ISO-14644的產(chǎn)生方式之一。以下說明潔凈室的各種標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范生動。

　　Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E，209的出版發(fā)行創新能力，是在1960年代新品技，之后不斷改版以因應(yīng)科技進(jìn)步與工業(yè)發(fā)展，版本從原始的209求得平衡、209A紮實做，一直到1992年的后一版209E。在2001年11月29日至關重要，美國正式宣布廢止209E提供深度撮合服務，改用ISO-14644，于是209E在書面上走入歷史的發生。但是在產(chǎn)業(yè)界組成部分，除了部份的歐洲公司之外，美國新的動力、日本的過程中、中國臺灣、與中國大陸廣泛關註，都還沿用209E促進進步。

　　ISO-14644系列;美國政府為了推動經(jīng)濟(jì)化，就很大方的放棄了自己的209E優勢領先，改而推行全部使用公制的標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644迎來新的篇章。14644系列有8個子題，稱為14644-1推動並實現，14644-2薄弱點，一直到14644-9。整個系列涵蓋了等級定義信息化、測試與監(jiān)視的規(guī)范、測試的程序方法向好態勢、設(shè)計與建造平臺建設、操作、以及其它的有關(guān)設(shè)備等貢獻力量，范圍很廣使用。

　　JIS B9920 (1989)：日本的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定潔凈室中浮游粒子的濃度測定方式發行速度，及潔凈度的等級定義更加堅強。

　　VDI 2083 (1993)：德國的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定潔凈度等級的定義方式性能，以及潔凈度的量測技術(shù)初步建立。

　　Gost-R(1995)：俄國的潔凈標(biāo)準(zhǔn)綜合運用，定義潔凈室的分類與一般需求。

　　以上是潔凈室等級規(guī)定的方法，與潔凈度量測的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)實事求是。另外有關(guān)潔凈室污染控制(也就是潔凈度控制)，和環(huán)境控制(如溫濕度落到實處、震動噪音等)服務水平，也有一些重要的測試規(guī)范，因為這些環(huán)境影響因素技術創新，都包含在潔凈室性能測試的范圍之內(nèi)處理方法。

　　IEST-RP-CC-006.2：這本有名的測試規(guī)范，目的就是為了補209的不足持續向好。209只有微粒量測習慣，006 包括了風(fēng)速風(fēng)量、濾網(wǎng)泄漏進一步推進、潔凈度導向作用、溫濕度、平行度應用的選擇、恢復(fù)率十大行動、粒子沉降測試、照度等背景下。006 的*版稱為006-84-T綜合措施，006.2是第二版。現(xiàn)在由于 NEBB 的興起自然條件，0062已經(jīng)功成身退現場，逐漸消失了。

　　NEBB 潔凈室測試規(guī)范第二版：這是目前廣為流行的測試規(guī)范力量，提到潔凈室認(rèn)證我有所應，就非 NEBB 莫屬。NEBB 潔凈室測試規(guī)范深入實施，可說是IEST-0062的改良版至關重要，其測試涵蓋范圍差不多，但是測試程序更為清楚嚴(yán)謹(jǐn)效果，儀器使用也有詳細(xì)規(guī)定有所應。因此 NEBB 潔凈室測試規(guī)范的出現(xiàn)，解決了不少測試的爭議合作關系，也因此 NEBB 潔凈室測試規(guī)范成功的成為產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)著力提升。 潔凈www.jiejing。傳遞。ｏｒｇ- MNxNhtbBSEeS*bvF

　　ISO-14698 系列：14698 有三個子題融合，是有關(guān)生物污染的控制深入闡釋。

　　每一種行業(yè)，甚至每一家公司或工廠規劃，對潔凈室的要求可能都不一樣提高。

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