自己換算 無塵室潔凈度分級

導體工業(yè)是極精密的工業(yè)標準，當我們把計算機拆開之后示範推廣，在電路板上一顆顆小小的IC都有數(shù)百萬顆甚至數(shù)千萬顆的晶體管。為了讓這些極小的晶體管妥善的工作即將展開，制造的過程必須在無塵室內(nèi)進行大幅增加，集成電路制造的工廠動輒需要數(shù)十億、數(shù)百億的投資傳承，多因為需要一個無塵室等特點。

　　 所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境多種，隨著集成電路技術(shù)的快速成長將進一步，也增加了對制造環(huán)境（無塵室）潔靜度的需求，在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米發展成就，也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命成就。

　　 由于奈米技術(shù)的興起，造成半導體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小開展面對面，集成電路積集度不斷的增加系統，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時自動化，就可能會使金屬導線形成短路提升。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上高品質，可能將其腐蝕不折不扣，所以無塵室為集成電路制造*的要素。

　　 依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Standard （FS） 209E, 1992】資源優勢，可將無塵室分為六級高效利用。分別是1級、10級估算、100級講理論、1000級的可能性、10000級、100000級各領域，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述應用領域，則可假設塵粒的尺寸為0.5?m，例如進行培訓，1級發展機遇、10級、100級無塵室大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆法治力量、10顆全技術方案、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5?m共享，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示信息化。例如：10級在0.2?m（塵粒尺寸在0.2?m或更大下，密度不大于75顆/立方英?）生動，1級在0.1?m（塵粒尺寸在0.1?m或更大下新型儲能，密度不大于35顆/立方英）。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級新品技。

　　 為保持無塵室的潔凈度領域，進出的人員有一定的穿著規(guī)定；10000與100000級好宣講，必須穿著長袍無塵衣註入新的動力、無塵鞋、帶帽子與面罩；1000級（含）以上雙重提升，需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住事關全面，并帶上手套和面罩表現明顯更佳，下表為無塵室清潔度的

　　 定義：
　　 塵粒數(shù)／立方英
　　 級數(shù) 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm
　　　　　 1 35 7.5 3 1 N/A
　　　　　 10 350 75 30 10 N/A
　　　　　 100 N/A 750 300 100 N/A
　　　　　 1000 N/A N/A N/A 1000 7
　　　　　N/A N/A N/A70
　　　　　N/A N/A N/A700