我國在粒子計(jì)數(shù)的測量水平顯著提高

近日從中國計(jì)量科學(xué)研究院（以下簡稱中國*），該院研究建立的潔凈空氣中顆粒計(jì)數(shù)計(jì)量校準(zhǔn)裝置提高了我國在粒子計(jì)數(shù)的測量水平進入當下，解決了此領(lǐng)域長期依賴國外進(jìn)口儀器的現(xiàn)狀紮實，提高了我國粒子計(jì)器的生產(chǎn)能力和競爭力。

　　項(xiàng)目負(fù)責(zé)人重要作用、中國*化學(xué)所程惠玲介紹等地，空氣中顆粒物污染是許多行業(yè)生產(chǎn)及加工工藝中主要的污染來源最為顯著，準(zhǔn)確評價(jià)空氣潔凈度已經(jīng)成為許多行業(yè)生產(chǎn)和產(chǎn)品檢測的要求。如在電子行業(yè)及芯片制造工業(yè)中規定，氣體中微小顆粒物的沉積就會造成電氣不良特性甚至更大的破壞穩定。特別是近年來芯片線寬已經(jīng)達(dá)到微米和亞微米級，這就對廠房內(nèi)的空氣潔凈度提出了更高的要求供給。另外，在現(xiàn)代醫(yī)學(xué)與藥物及生物工程中經驗分享，包括我國在內(nèi)的世界各國制定實(shí)施的“藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范GMP”中也著重對藥品生產(chǎn)過程中空氣中的顆粒物潔凈度提出了要求解決方案。特別是隨著《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要》的貫徹執(zhí)行，作為16個(gè)重大發(fā)展專項(xiàng)的核心電子器件有力扭轉、通用芯片上高質量、重大新藥創(chuàng)制將會得到快速發(fā)展，這就使得顆粒計(jì)數(shù)測量和監(jiān)測變得更加迫切廣度和深度。

　　塵埃粒子計(jì)數(shù)器就是用于測量潔凈環(huán)境中單位體積內(nèi)塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器深入交流。它可廣泛應(yīng)用于為藥檢所、血液中心加強宣傳、防疫站臺上與臺下、疾控中心、質(zhì)量監(jiān)督所等機(jī)構(gòu)技術發展，以及生物集聚效應、制藥、半導(dǎo)體重要手段、光學(xué)或精密機(jī)械加工等生產(chǎn)企業(yè)互動講。

　　“據(jù)估計(jì)，我國現(xiàn)有的塵埃粒子計(jì)數(shù)器生產(chǎn)廠家有10余家像一棵樹，國內(nèi)使用的臺件數(shù)量應(yīng)不少于3萬臺過程中，這些廠家及用戶具有很強(qiáng)烈的校準(zhǔn)檢測需求。”程惠玲說能運用，要保證空氣中塵埃顆粒測量的準(zhǔn)確性達到，首先需要確保塵埃粒子計(jì)數(shù)器本身的準(zhǔn)確和可溯源。中國*完成的這項(xiàng)研究工具，建立了標(biāo)準(zhǔn)粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)裝置智慧與合力，實(shí)現(xiàn)了對標(biāo)準(zhǔn)粒子計(jì)數(shù)器的粒子計(jì)數(shù)示值誤差、粒徑檔設(shè)定相對誤差醒悟、粒徑測量分辨力校準(zhǔn)項(xiàng)目的檢定和校準(zhǔn)數據顯示，不確定度為6.0%（k=2），優(yōu)于國外相同計(jì)量校準(zhǔn)裝置的技術(shù)水平也逐步提升。同時(shí)記得牢，他們還建立了工作級粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)裝置，實(shí)現(xiàn)對工作級（實(shí)驗(yàn)室用、便攜式）粒子計(jì)數(shù)器粒子計(jì)數(shù)示值誤差的有效校準(zhǔn)更多可能性。

　　“在研究中去創新，我們通過采用先進(jìn)的‘激光粒子計(jì)數(shù)器——凝結(jié)核粒子計(jì)數(shù)器——氣溶膠靜電計(jì)（或掃描電子顯微鏡）’逐級溯源法，使標(biāo)準(zhǔn)粒子計(jì)數(shù)器的粒子計(jì)數(shù)值溯源至國家電流標(biāo)準(zhǔn)和傳統(tǒng)的顯微計(jì)數(shù)法緊迫性，保證了粒子計(jì)數(shù)的溯源性和準(zhǔn)確性結構。”程惠玲認(rèn)為這是該項(xiàng)目的一大創(chuàng)新點(diǎn)。

　　程惠玲介紹高效，通過該項(xiàng)目的實(shí)施溝通協調，建立了我國塵埃粒子計(jì)數(shù)器的計(jì)量校準(zhǔn)裝置和溯源方法。建立的校準(zhǔn)裝置*我國塵埃粒子計(jì)數(shù)器實(shí)物計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的空白體系，為我國塵埃粒子計(jì)數(shù)器的量值溯源和傳遞提供了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)和保障保障性，有力推進(jìn)了我國《塵埃粒子計(jì)數(shù)器》國家校準(zhǔn)規(guī)范及《塵埃粒子計(jì)數(shù)器性能試驗(yàn)方法》的有效實(shí)施。