四探針電阻率檢測儀型號：BT-300H
四探針測試儀是根據(jù)四探針測試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置生產創效，它可以測量棒狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率和半導(dǎo)體擴散層的薄層電阻進行測量管理，可以從10-6--105Ω—cm全量程范圍檢測硅的片狀優化上下、棒狀材料的電阻、薄層電阻模樣，是硅材料質(zhì)量監(jiān)測的必需儀器生產體系。
儀器主要技術(shù)指標：
1. 范圍：電阻率10-4—103Ω—cm服務，可擴展至105Ω—cm，
分辯率為10-6Ω—cm
方塊電阻10-3—103Ω /電阻10-6—105Ω
2. 可測半導(dǎo)體尺寸：直徑Φ15—150mm
3. 測量方式：軸向能力和水平、斷面均可(手動測試架)
4. 數(shù)字電壓表(1)量程0.2mV大型、2mV、20mV明確相關要求、200mV、2V
(2)測量誤差 0.2mV檔±(0.3%讀數(shù)+8字)
2 mV檔以上±(0.3%讀數(shù)+2字)
(3)輸入阻抗0.2mV統籌發展、2mV擋105Ω
20mV檔以上>108Ω
5. 恒流源：(1)電流輸出：直流電流0—100mA連續(xù)可調(diào)深化涉外，由交流電源供給
(2)量程：10μA、100μA生產製造、1mA開展試點、10mA、100mA 五檔
(3)電流誤差：±(0.3%讀數(shù)+2字)
6.四探針測試探頭 (1)探頭間距：1mm (2)探針機械游率：±0.3%
(3) 探針：Φ0.5mm
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