本設(shè)備要求在海拔1000m以下約定管轄，溫度25℃±15℃數據，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1發揮、水：不需要

2顯著、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地與時俱進。

3性能、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，客戶需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭綜合運用，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）組建。

4各有優勢、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5重要的意義、通風(fēng)裝置：需要持續。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC 220V   50Hz/60Hz  2.5KW

2再獲、石英管：外徑?50mm產品和服務，內(nèi)徑?44mm，長1000mm

外徑?60mm體驗區，內(nèi)徑?54mm增多，長1000mm

外徑?80mm，內(nèi)徑?74mm有望，長1000mm

外徑?100mm進一步推進，內(nèi)徑?94mm，長1000mm

3方案、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲應用的選擇，表面涂有氧化鋯

4、加熱區(qū)域：440mm

5左右、工作溫度：最高1200℃（必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變）背景下，連續(xù)工作1100℃

6、最大升降溫速率：20℃/min

7可靠保障、控溫精度：±1℃

8自然條件、真空度：10-2torr（機(jī)械泵），10-5torr（分子泵）

9開展、泄漏率：<5mtorr/min

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：590mm×380mm×520mm互動互補；重量：40kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1根

2

不銹鋼真空法蘭

1套

可選配件

1、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

2意向、數(shù)字真空計(jì)

3意料之外、PC控制軟件