安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下深入各系統，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用系列。

1作用、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz慢體驗，必須有良好接地

3著力增加、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭科技實力，可自費改制成為雙卡套接頭）

4處理、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5在此基礎上、通風裝置：需要

技術(shù)參數(shù)

1助力各行、電源：AC220V 1.2KW

2、石英管：外徑?25mm自主研發，內(nèi)徑?20mm確定性，長450mm

                    外徑?50mm，內(nèi)徑?43mm品率，長450mm

3相貫通、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4積極影響、加熱區(qū)域：200mm

5自動化方案、工作溫度：最高1200℃（<1h），連續(xù)工作1100℃

6越來越重要、最大升降溫速率：10℃/min

7線上線下、控溫精度：±1℃

8、真空度：10-2torr（機械泵）

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：750mm×300mm×400mm醒悟；重量：18kg

標準配件

1

氧化鋁管堵

2套

2

不銹鋼法蘭

1套

可選配件

1數據顯示、石英管堵

2、波紋管

3也逐步提升、數(shù)字真空計

4記得牢、KF25轉(zhuǎn)換接頭

5註入了新的力量、卡套接頭（?6.35mm，可使爐管內(nèi)獲得微正壓）